四合一测量技术的革新者

瑞士PG电子官网 Sensofar 的四合一方法只需点击一次，系统即可切换到适合当前测量任务的最佳技术。在 S neox 传感器头中配置四种测量技术——共聚焦，干涉， AI 多焦面叠加，这些都为系统的多功能性做出了重要贡献，并有助于最大限度地减少数据采集中的噪点。 S neox 是所有实验室的理想之选，适用范围广泛。

AI 多焦面叠加

主动照明多焦面叠加是一种为了测量大粗糙表面形状而开发的光学技术。这项技术基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量。通过使用主动照明，即使在光学平滑的表面上也能获得更可靠的测量数据，这一点已经得到了改进。该技术的亮点包括高斜率表面（高达 86 °），最快的速度（ 3mm/s ）和较大的垂直范围测量 。

共聚焦

共聚焦轮廓仪的开发目的是，测量从光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦轮廓提供最高的横向分辨率，最高可达 0.15 μ m 水平分辨率，空间采样可减少到 0.01 μ m ，这是关键尺寸测量的理想选择。高达 NA （ 0.95 ）和放大倍率（ 150X ）的物镜可用于测量局部斜率超过 70 °的光滑表面。对于粗糙表面，最高可允许 86 °。独家的共聚焦算法提供了纳米尺度上的垂直重复性。

干涉

PSI 相移干涉法，可以用于测量亚埃分辨率的高度光滑和连续表面的高度。可以使用极低的放大率（ 2.5X ）测量具有相同高度分辨率的大视场。

CSI 相干扫描干涉法使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，达到 1nm 的高度分辨率。

薄膜

薄膜测量技术快速、准确、无损地测量光学透明层的厚度，且不需要样品制备。该系统获取可见光范围内样品的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行比较，对层厚进行修改，直到找到最佳拟合。可以在不到一秒钟的时间内测量出 50nm 到 1.5 μ m 的透明膜。测量光斑取决于物镜放大率，最小可低至 0.5 μ m ，最高可达 40 μ m 。